Чемшунполираща плоча от алуминиеви пластини/въртящата се маса е изработена от високочист алуминиев оксид с 99,7-99,9% чистота. Високочистата алуминиева керамика се отличава с изключителна твърдост и отлична износоустойчивост при полиране на пластини и поддържа добра форма на повърхността за дълъг период от време. Оформена е чрез PIBM (PiBm - индукционно импрегниране с лазерно импрегниране). Тя е част от полупроводниковата индустрия поради своята несравнима термична и размерна стабилност и устойчивост на тежки условия на оборудване за обработка на микрочипове.
Химико-механичната планаризация (ХМП), известна още като химико-механично полиране, е технология в производствения процес на полупроводникови устройства. Тя използва химическа корозия и механични сили за изравняване на силициеви пластини или други субстратни материали по време на обработката.
CMP оборудването е разделено основно на две части: полираща част и почистваща част. Полиращата част се състои от 4 части, а именно 3 въртящи се полиращи маси и модул за зареждане и разтоварване на пластини. Почистващата част е отговорна за почистването и сушенето на пластината, за да се постигне нейното „вмъкване и изсушаване“. В цялото полиращо оборудване алуминиевата керамика играе важна роля.
Алуминиевата керамика обикновено се използва за изработка на дискове за полиране на пластини, които изискват висока чистота, висока химическа устойчивост и добър контрол на формата и грапавостта на повърхността.
Керамичният шлифовъчен диск Chemshun 99.7% Al2O3 е изработен от съвременни керамични материали, подходящи за фино смилане на различни материали, особено за смилане на крехки материали като пластини, керамика и стъкло. Нашият керамичен шлифовъчен диск може да бъде изработен в различни размери според различните модели за шлифоване и полиране.
Време на публикуване: 30 май 2025 г.